SiGe micromirrors for optical applications.
| Autor: | Beernaert, R., De Coster, J., Podprocky, T., Witvrouw, A., Severi, S., Avci, A., De Smet, J., De Smet, H. |
|---|---|
| Zdroj: | Proceedings of SPIE; Nov1989, Issue 1, p77501S-77501S-6, 6p |
| Databáze: | Complementary Index |
| Externí odkaz: |
|