Wachstum von TiN-Schichten bei periodisch wechselnden Einfallswinkelverhältnissen der schichtbildenden Teilchen.

Autor: Reinhold, U., Neidhardt, A., Puff, M., Wuttke, W.
Zdroj: Vakuum in Forschung und Praxis; Jun1992, Vol. 4 Issue 2, p122-129, 8p
Databáze: Complementary Index
Externí odkaz: