金刚石化学机械抛光研究进展.

Autor: 安 康, 许光宇, 吴海平, 张亚琛, 张永康, 李利军, 李 鸿, 张旭芳, 刘峰斌, 李成明
Předmět:
Zdroj: Journal of Synthetic Crystals; Oct2024, Vol. 53 Issue 10, p1675-1687, 13p
Databáze: Complementary Index