基于 ScAIN 薄膜的高频 PMUT 阵列的设计与制造.

Autor: 塔桂峰1. 2., 刘建河,李加东, 姚术涛, 浩杰1. 2., 苗斌2., 商文玲, 陶金燕2. 3.
Předmět:
Zdroj: Piezoelectrics & Acoustooptics; 2024, Vol. 46 Issue 4, p496-504, 9p
Databáze: Complementary Index