一种用于 MEMS加速度计温度性能 提升的双质量全差分结构.

Autor: 陈鹏旭, 任臣, 杨拥军
Zdroj: Micronanoelectronic Technology; Jul2024, Vol. 61 Issue 7, p1-6, 6p
Databáze: Complementary Index