掺杂种类对磷化铟晶片切割损伤层 及翘曲度的影响.

Autor: 史艳磊, 赵红飞, 孙聂枫, 王书杰, 张志忠, 李晓岚, 王阳, 李亚旗, 岳琳清, 秦敬凯, 徐成彦
Zdroj: Micronanoelectronic Technology; Jul2024, Vol. 61 Issue 7, p1-7, 7p
Databáze: Complementary Index