L 波段硅基多层堆叠 MEMS 耦合器.

Autor: 汪 蔚, 李志东, 王伟强, 周 嘉, 武亚宵
Zdroj: Micronanoelectronic Technology; Jun2024, Vol. 61 Issue 6, p1-6, 6p
Databáze: Complementary Index