切削液对金刚石线锯切割 β-Ga2O3 晶片表面质量的影响.

Autor: 王晓龙, 高鹏程, 檀柏梅, 杜浩毓, 王方圆
Zdroj: Lubrication Engineering (0254-0150); 2024, Vol. 49 Issue 3, p133-142, 10p
Databáze: Complementary Index