集成电路钴化学机械抛光缺陷控制的研究进展.

Autor: 纪金伯, 张男男, 檀柏梅, 张师浩, 闫 妹, 李 伟
Předmět:
Zdroj: Lubrication Engineering (0254-0150); 2023, Vol. 48 Issue 7, p190-197, 8p
Databáze: Complementary Index