铜互连CMP工艺中缓蚀剂应用的研究进展.

Autor: 闫晗, 新环, 张银婵, 朱烨博, 侯子阳, 屈明慧, 罗付
Předmět:
Zdroj: Lubrication Engineering (0254-0150); 2023, Vol. 48 Issue 3, p164-171, 8p
Databáze: Complementary Index