基于半球谐振陀螺电极刻蚀的三维平衡调整方法.

Autor: 杨 勇, 彭 凯, 邓 力, 谭品恒, 方仲祺, 雷 霆, 余 波
Předmět:
Zdroj: Piezoelectrics & Acoustooptics; Jun2021, Vol. 43 Issue 3, p336-339, 4p
Databáze: Complementary Index