错位叠加曝光法制作楔形斜面微结构研究.

Autor: 董立文, 宋晓欣, 顾仁权, 张锋, 袁广才, 姚琪, 吕志军, 刘文渠, 崔钊
Předmět:
Zdroj: Chinese Journal of Liquid Crystal & Displays; 2021, Vol. 36 Issue 3, p398-404, 7p
Databáze: Complementary Index