高硼硅玻璃薄膜的磁控溅射沉积及性能研究.

Autor: 石博元, 张芩宇, 姜 宏, 文 峰, 马艳平
Zdroj: Journal of Synthetic Crystals; 2020, Vol. 49 Issue 12, p2371-2375, 5p
Databáze: Complementary Index