基于各向同性干法刻蚀的大面积悬空Al膜制备.

Autor: 任子明, 汤 跃, 赵 菲, 王任鑫, 张国军, 孟国栋
Zdroj: Piezoelectrics & Acoustooptics; Dec2018, Vol. 40 Issue 6, p942-946, 5p
Databáze: Complementary Index