MECHANISMS FOR ENHANCED FORMATION OF THE C54 PHASE OF TITANIUM SILICIDE.

Autor:	HARPER, J. M. E., CABRAL JR, C., LAVOIE, C., CLEVENGER, L. A., d'HEURLE, F. M., GIGNAC, L., JORDAN-SWEET, J., ROY, R. A., SAENGER, K. L., MILES, G. L., MANN, R. W., NAKOS, J.
Předmět:	SCANNING electron microscopy SILICON nitride NANOPARTICLES TITANIUM silicides THIN films
Zdroj:	Silicides: Fundamentals & Applications; 2000, p261-275, 15p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu