面向低成品率光刻机调度问题的 反向-灾变共生生物搜索算法.

Autor: 宫思凯, 黄冉, 曹政才
Zdroj: China Sciencepaper; jul2017, Vol. 12 Issue 14, p1670-1674, 5p
Databáze: Complementary Index