Использование смеси газов (C2H2+N2) для получения высокотвердых карбонитридных покрытий на основе молибдена

Autor: Береснев, В. М., Соболь, О. В., Погребняк, А. Д., Литовченко, С. В., Мейлехов, А. А., Столбовой, В. А., Евтушенко, Н. С., Колесников, Д. А., Ковалева, М. Г., Мазилин, Б. A., Маликов, Л. В., Проценко, З. Н., Дощечкина, И. В.
Zdroj: Journal of Nano- & Electronic Physics; 2017, Vol. 9 Issue 5, p1-6, 6p
Databáze: Complementary Index