Nanostructural TiN/Cu coatings deposited from the separated plasma flows.

Autor: LATUSHKINA, Svetlana D., KUIS, Dmitiy V., ZHIZHCHENKO, Alexey G., POSYLKINA, Olga I., PISKUNOVA, Olga Y., OPIELAK, Marek
Předmět:
Zdroj: Przegląd Elektrotechniczny; 2016, Vol. 92 Issue 8, p173-175, 3p
Databáze: Complementary Index