Section 11: Bulk Micromachining: STRINGS, LOOPS AND PYRAMIDSBUILDING BLOCKS FOR MICROSTRUCTURES.

Autor:	Busta, H. H., Feinerman, A. D., Ketterson, J. B., Cueller, R. D.
Zdroj:	Micromechanics & MEMS; 1997, p565-569, 5p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu