3D and Circuit Integration of MEMS. [elektronicky zdroj]
Autor: | Esashi, Masayoshi |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Informace o vydání: | Newark : John Wiley & Sons, Incorporated, 2021. |
Předmět: | |
Druh dokumentu: | Online; Non-fiction; Electronic document |
Databáze: | Vybrané kolekce e-knih |
Externí odkaz: |