Thin film materials technology. [electronic resource] : sputtering of compound materials.

Autor:	Wasa, Kiyotaka
Další autoři:	Kitabatake, Makoto Adachi, Hideaki ProQuest (Firm)
Jazyk:	angličtina
Informace o vydání:	Norwich, NY : William Andrew Pub. ; Heidelberg : Springer, c2004.
Předmět:	Cathode sputtering (Plating process) Thin films Electronic books
Druh dokumentu:	Bibliographies; Electronic; Non-fiction; Electronic document
Databáze:	Vybrané kolekce e-knih
Externí odkaz:	Kolekce e-knih KNAV Registrovani uzivatele: plny text online 5 minut, dalsi pristup na vyzadani. Registered users: full text online 5 minutes, further access on request.