Thin film materials technology. [electronic resource] : sputtering of compound materials.
Autor: | Wasa, Kiyotaka |
---|---|
Další autoři: | |
Jazyk: | angličtina |
Informace o vydání: | Norwich, NY : William Andrew Pub. ; Heidelberg : Springer, c2004. |
Předmět: | |
Druh dokumentu: | Bibliographies; Electronic; Non-fiction; Electronic document |
Databáze: | Vybrané kolekce e-knih |
Externí odkaz: |