PVD for microelectronics. [electronic resource] : sputter deposition applied to semiconductor manufacturing.

Autor:	Powell, Ronald A.
Další autoři:	Rossnagel, Stephen M. ProQuest (Firm)
Jazyk:	angličtina
Informace o vydání:	San Diego : Academic Press, c1999.
Předmět:	Thin film devices -- Design and construction Vapor-plating Thin films Electronic books
Druh dokumentu:	Bibliographies; Electronic; Non-fiction; Electronic document
Databáze:	Vybrané kolekce e-knih
Externí odkaz:	Kolekce e-knih KNAV Registrovani uzivatele: plny text online 5 minut, dalsi pristup na vyzadani. Registered users: full text online 5 minutes, further access on request.