Reduced Thermal Processing for ULSI. [electronic resource]

Autor:	Levy, Roland A.
Jazyk:	angličtina
Informace o vydání:	Boston : Springer, 1990.
Předmět:	Integrated circuits--Ultra large scale integration--Heat treatment--Congresses Electronic books
Vydání:	1st ed.
Druh dokumentu:	Online; Non-fiction; Electronic document
Databáze:	Vybrané kolekce e-knih
Externí odkaz:	Kolekce e-knih KNAV Registrovani uzivatele: plny text online 5 minut, dalsi pristup na vyzadani. Registered users: full text online 5 minutes, further access on requests.