Handbook of sputter deposition technology. [electronic resource] : principles, technology, and applications.
| Autor: | Wasa, Kiyotaka |
|---|---|
| Další autoři: |
Hayakawa, Shigeru, 1925-
|
| Jazyk: | angličtina |
| Informace o vydání: | Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications, c1992. |
| Předmět: | |
| Druh dokumentu: | Bibliographies; Electronic; Non-fiction; Electronic document |
| Databáze: | Vybrané kolekce e-knih |
| Externí odkaz: |
|