Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors. [electronic resource]

Autor:	Gonzaalez Ruiz, Pilar
Další autoři:	Meyer, Kristen De Witvrouw, Ann ProQuest (Firm)
Jazyk:	angličtina
Informace o vydání:	Dordrecht : Springer Science, 2014.
Předmět:	Microelectromechanical systems Metal oxide semiconductors Complementary Polycrystals Electronic books
Druh dokumentu:	Bibliographies; Electronic; Non-fiction; Electronic document
Databáze:	Vybrané kolekce e-knih
Externí odkaz:	Kolekce e-knih KNAV Registrovani uzivatele: plny text online 5 minut, dalsi pristup na vyzadani. Registered users: full text online 5 minutes, further access on request.