Nanoimprint lithography. [electronic resource] : an enabling process for nanofabrication.

Autor:	Zhou, Weimin
Další autoři:	ProQuest (Firm)
Jazyk:	angličtina
Informace o vydání:	Berlin : Springer, 2013.
Předmět:	Nanoelectronics Microlithography Nanostructures Electronic books
Druh dokumentu:	Bibliographies; Electronic; Non-fiction; Electronic document
Databáze:	Vybrané kolekce e-knih
Externí odkaz:	Kolekce e-knih KNAV Registrovani uzivatele: plny text online 5 minut, dalsi pristup na vyzadani. Registered users: full text online 5 minutes, further access on request.