Handbook of sputter deposition technology. [elektronicky zdroj] : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials, and MEMS.
| Další autoři: | |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Informace o vydání: | Amsterdam : Elsevier, 2012. |
| Předmět: | |
| Vydání: | 2nd ed. |
| Druh dokumentu: | Bibliographies; Electronic; Non-fiction; Electronic document |
| Databáze: | Vybrané kolekce e-knih |
| Externí odkaz: |
|