Tenké vrstvy SiN připravené metodou IBAD a jejich analýza infračervenou absorpční spektroskopií = Thin films SiN made up with the method IBAD and their analysis by infrared absorption spectroscopy.
| Autor: | Černý, František |
|---|---|
| Další autoři: |
Bryknar, Zdeněk, 1944-
Potůček, Zdeněk, 1970-
Hnatowicz, Vladimír, 1938-
|
| Jazyk: | čeština |
| Předmět: | |
| Druh dokumentu: | Non-fiction |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Databáze: | Katalog Knihovny AV ČR |
| Externí odkaz: |
|