Autor:	Junek, Jiří
Jazyk:	čeština
Předmět:	články journal articles mechanické napětí tenká vrstva multivrstva rádius průhyb depozice tenkých vrstev mechanical stress thin films multilayer radius sag thin films depositions
Druh dokumentu:	Non-fiction
ISSN:	0447-6441
Abstrakt:	Abstract: V článku jsou uvedeny důvody, proč je významné se zabývat mechanickým napětím tenkých vrstev, zejména systémem více vrstev. Shrnuje vlastnosti modelu uvedeného v literatuře a podává odvození alternativního popisu jednotlivých vrstev. Jsou porovnány oba přístupy a uvedeny výhody jejich použití v různých případech.
Databáze:	Katalog Knihovny AV ČR
Externí odkaz: