Abstrakt: |
Abstract: Kombinace oxidu titaničitého (TiO₂) a oxidu křemičitého (SiO₂) se pro interferenční filtry používá již desítky let. Ve většině aplikaci pro oblast viditelného a blízkého infračerveného spektra je tato kombinace nejlepší volbou, a to jak pro jednoduché filtry, tak i pro složité soustavy desítek vrstev. Přesto se při depozici těchto materiálů vakuovým odpařováním z elektronového děla s iontovou asistencí v naší laboratoři objevil ve vrstvách problém nepředpokládaných ztrát světa. Podobný jev nebyl, dle naší rešerše, popsán v žádné dostupné literatuře. Článek popisuje experimenty směřující k nalezení původu těchto ztrát a jejich potlačení. |