Studium struktury a růstu nízkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu.

Autor:	Mates, Tomáš
Další autoři:	Mates, Tomáš Fejfar, Antonín Drbohlav, Ivo Rezek, Bohuslav, 1973- Fojtík, Petr, 1975- Luterová, Kateřina Pelant, Ivan, 1944- Kočka, Jan
Jazyk:	čeština
Předmět:	optoelektronika transportní jevy křemík optoelectronics transport processes silicon články journal articles
Druh dokumentu:	Non-fiction
ISSN:	0009-0700
Abstrakt:	Abstract: Hydrogenizovaný mikrokrystalický křemík představuje širokou škálu materiálů s rozmanitou strukturou a vlastnostmi závislými na depozičních parametrech. V současnosti se věnuje pozornost vrstvám připraveným za velmi nízkých teplot (- 80 °C), což je podmínkou výroby levných slunečních článků na plastových substrátech. I při takto nízké teplotě lze připravit kvalitní protokrystalické vrstvy (na hranici mezi amorfním a mikrokrystalickým růstem) pro sluneční články s vysokou účinností. V této práci se zabýváme vlivem tloušťky vrstvy, koncentrace silanu a teploty substrátu na strukturu a elektrické vlastnosti tenkých vrstev protokrystalického křemíku. Pro popis růstu mikrokrystalických zrn předkládáme jednoduchý geometrický model, jehož výsledky srovnáváme s naměřenými topografiemi reálných vzorků. Dále ukážeme vliv zrn na transportní vlastnosti tenkých křemíkových vrstev a naznačíme možné chování těchto vrstev při dalším snižování depoziční teploty.
Databáze:	Katalog Knihovny AV ČR
Externí odkaz: