Zobrazení iontovým svazkem a 2D SIMS.
Autor: | Bábor, Petr |
---|---|
Další autoři: |
Šikola, Tomáš, 1957-
|
Jazyk: | čeština |
Předmět: | |
Druh dokumentu: | Non-fiction |
ISSN: | 0447-6441 |
Abstrakt: | Abstract: V článku jsou stručně popsány principy a využití hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS). Dále se článek zabývá experimentálním využitím zobrazování iontovým svazkem pomocí kontrastu v proudu ve vzorku při vychylování iontového svaku. Závěrem jsou prezentovány některé konkrétní aplikace tohoto zobrazovacího systému - hloubkové profilování prvkového složení tenkých vrstev. |
Databáze: | Katalog Knihovny AV ČR |
Externí odkaz: |
načítá se...