Zobrazení iontovým svazkem a 2D SIMS.

Autor: Bábor, Petr
Další autoři:
Jazyk: čeština
Předmět:
Druh dokumentu: Non-fiction
ISSN: 0447-6441
Abstrakt: Abstract: V článku jsou stručně popsány principy a využití hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS). Dále se článek zabývá experimentálním využitím zobrazování iontovým svazkem pomocí kontrastu v proudu ve vzorku při vychylování iontového svaku. Závěrem jsou prezentovány některé konkrétní aplikace tohoto zobrazovacího systému - hloubkové profilování prvkového složení tenkých vrstev.
Databáze: Katalog Knihovny AV ČR
načítá se...