| Abstrakt: |
Abstract: T echnologie tenkých vrstev je v současnosti nepostradatelnou součástí mnoha výrobních procesů. S úspěchem se využívá například v elektrotechnickém průmyslu, elektronice, optice, strojírenství, energetice, či lékařství. Její optimalizace je však do značné míry podmíněna kvalitní metrologií, v oblasti mechanických vlastností zejména tvrdosti, elastického modulu a přilnavosti. Pro jejich měření je nabízena celá řada měřicích přístrojů specializovaných pro určitý druh testu nebo komplexnějších, umožňujících provádět při malých změnách konfigurace komplet měření mechanických vlastností tenkých vrstev a povlaků a jejich analýzu. K nim přísluší modulární měřicí systém NanoTest™ NT600 firmy MicroMaterials, Ltd., jehož unikátní konstrukce využívající kyvadla umožňuje zatěžovat zkoumaný vzorek silou orientovanou ve směru horizontálním. |
