Abstrakt: |
Abstract: Průmyslové nasazení nanokompozitů se datuje už do roku 1996, nicméně navzdory od té doby vynaloženému úsilí, nebyl jejich potenciál zdaleka vyčerpán. Vedle již publikovaných vlivů depoziční teploty a parciálního tlaku dusíku, byly prof. Vepřkem navrženy další klíčové veličiny a objasněn jejich význam na tvrdost a stabilitu, především TiSiN kompozitů. Na základě jeho článků a doporučení byl studován vliv optimálního obsahu křemíku a vliv obsahu kyslíku na tvrdost vrstvy nc-(Ti x Al 1-x )N/ a-Si 3 N 4 , resp. nc-(Cr x Al 1-x )N/ a-Si 3 N 4 deponované z rotačních válcových katod s využitím nízkonapěťového oblouku. |