Konstrukce a aplikace disociačního termálního zdroje svazků atomů vodíku.

Další autoři:	Mach, Jindřich Potoček, Michal Kolíbal, Miroslav, 1979- Šikola, Tomáš, 1957-
Jazyk:	čeština
Předmět:	přesná mechanika precision mechanics články journal articles vodík disociace termální atomární zdroj svazek atomů vodíku
Druh dokumentu:	Kniha
Abstrakt:	Abstract: Článek popisuje návrh a konstrukci termálního disociačního zdroje poskytujícího svazky atomů vodíku o termální energii (0,1 - 1 eV). Zdroj pracuje v UHV podmínkách a je primárně určen k následujícím aplikacím: nízkoteplotní čištění povrchu a ultratenkých vrstev, příprava vodíkem pasivovaných povrchů a molekulární svazková epitaxe s asistencí vodíkových atomů. Molekuly vodíku byly disociovány na vnitřním povrchu wolframové kapiláry, která byla žhavena dopadem urychlených elektronů. Vlastnosti tohoto zdroje byly studovány užitím kvadrupólového hmotnostního spektrometru umístěného v diferenciálně čerpané UHV komoře.
Databáze:	Katalog Knihovny AV ČR
Externí odkaz:	Plný text