Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou = Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode.

Další autoři:	Glajc, Petr Zlámal, Jakub, 1973- Mach, Jindřich Kolíbal, Miroslav, 1979- Šikola, Tomáš, 1957-
Jazyk:	čeština
Předmět:	ionty ions články journal articles iontový zdroj sedlové pole žhavená katoda odprašování EOD ion source saddle field thermionic cathode sputtering
Druh dokumentu:	Non-fiction
Abstrakt:	Abstract: Článek se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje a testováním jeho parametrů. Jedná se o iontový zdroj se sedlovým polem, který je určen primárně pro odprašování vzorků ionty N2+ či Ar+. Hlavním rozdílem vytvořeného zdroje oproti klasickým iontovým zdrojům se sedlovým polem je použití žhavené wolframové katody, což vede ke zvýšení elektronového proudu v ionizační oblasti. V článku je popsán simulační model vytvořený v programu Electron Optical Design, pomocí něhož je také určena teoretická účinnost iontového zdroje. Dále je popsán konstrukční návrh a nejdůležitější prvky zdroje. Článek se také věnuje testování a optimalizaci prototypu iontového zdroje, zejména pak měření velikosti vystupujícího iontového proudu.
Databáze:	Katalog Knihovny AV ČR
Externí odkaz: