Tenké vrstvy ZnO připravené pomocí vícetryskového SWD plazmového systému = ZnO thin films prepared by multi SWD plasma jet system.

Další autoři:	Kohout, Michal Olejníček, Jiří, 1976- Šmíd, Jiří Čada, Martin Kment, Štěpán Kšírová, Petra Brunclíková, Michaela Hubička, Zdeněk, 1972-
Jazyk:	čeština
Předmět:	tenké vrstvy thin films články journal articles ZnO surfatron Langmuirova sonda hustota plazmatu Langmuir probe plasma density
Druh dokumentu:	Non-fiction
Abstrakt:	Abstract: V článku je popsaná vícesvazková plazmová aparatura se čtyřmi nezávislými tryskami pracujícími na principu výboje generovaného surfatronem. Tento unikární systém byl následně optimalizován pro depozice metodou plazmochemického napařování a použit pro přípravu ZnO tenkých vrstev a ZnO vrstev dopovaných hliníkem či manganem. Pomocí Langmuirovy sondy byly studovány časově rozlišené vlastnosti nízkotlakého plazmového svazku pracujícího v pulzním módu za účelem zjištění hustoty plazmatu a elektronové teploty v aktivní části plazmového kanálu. Následně byla připravena sada ZnO vzorků o tloušťce 300 nm, které byly analyzovány pomocí rentgenové difrakce, elektronové mikroskopie, povrchové profilometrie, UV světelné amperometrie, optické elipsometrie a dalších metod. Všechny zkoumané vzorky byly krystalické, vykazovaly vodivost typu N s šířkou zakázaného pásu 3,5 eV a byly fotoelektrochemicky aktivní.
Databáze:	Katalog Knihovny AV ČR
Externí odkaz: