Zařízení pro analýzu křemíkových desek.
| Další autoři: |
Šikola, Tomáš, 1957-
|
|---|---|
| Jazyk: | čeština |
| Předmět: | |
| Druh dokumentu: | Kniha |
| Abstrakt: | Abstract: Cílem této práce bylo vytvořit zařízení pro analýzu defektů (vrstevných chyb) na povrchu křemíkových desek vyrobených Czochralského metodou. Zařízení je schopno automaticky analyzovat desky až do průměru 200 mm. Sestává z optického mikroskopu, polohovacího motorizovaného xy stolku, obslužné elektroniky a ovládacího a vyhodnocovacího softwaru, který dokáže defekty na desce rozpoznat, lokalizovat a charakterizovat. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s firmou ON Semiconductor ČR. |
| Databáze: | Katalog Knihovny AV ČR |
| Externí odkaz: |
|