Využítí mikroskopu rastrující sondou pro kontrolu kvality tenkých vrstev.

Další autoři:
Jazyk: čeština
Předmět:
Druh dokumentu: Kniha
Abstrakt: Abstract: Depozicí tenkých vrstev lze upravovat fyzikální a chemické vlastnosti základního materiálu jako jsou např. tvrdost, korozivzdornost, odolnos abrazi a koeficient tření. Pro velmi přesnouo charakterizaci vlastností tenkých vrstev lze s výhodou využít metody mikroskopie rastrující sondy, pomocí kterých lze snadno stanovit 3D topografii, nanotvrdost, elasticitu, ahezi, elektrickou a teplnou vodivost aj.
Databáze: Katalog Knihovny AV ČR