Využítí mikroskopu rastrující sondou pro kontrolu kvality tenkých vrstev.
Další autoři: | |
---|---|
Jazyk: | čeština |
Předmět: | |
Druh dokumentu: | Kniha |
Abstrakt: | Abstract: Depozicí tenkých vrstev lze upravovat fyzikální a chemické vlastnosti základního materiálu jako jsou např. tvrdost, korozivzdornost, odolnos abrazi a koeficient tření. Pro velmi přesnouo charakterizaci vlastností tenkých vrstev lze s výhodou využít metody mikroskopie rastrující sondy, pomocí kterých lze snadno stanovit 3D topografii, nanotvrdost, elasticitu, ahezi, elektrickou a teplnou vodivost aj. |
Databáze: | Katalog Knihovny AV ČR |
Externí odkaz: |