Semiconductor measurement technology: workshop on Mass Flow Measurement and Control for the Semiconductor Industry.

Autor:	Berg, Robert F.
Další autoři:	Mattingly, George E. Green, David S.
Jazyk:	angličtina
Informace o vydání:	Gaithersburg : U.S. Department of Commerce. NIST, 2001.
Předmět:	kalibrace konference měření průtoku polovodiče sborníky standardy termodynamické vlastnosti
Druh dokumentu:	Kniha
Databáze:	Katalog Knihovny AV ČR
Externí odkaz: