An alternative to solid polyurethane for CMP.

Autor:	Dejule, Ruth
Zdroj:	Solid State Technology. Aug2001, Vol. 44 Issue 8, p30. 1/2p. 1 Black and White Photograph.
Databáze:	Business Source Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.