Role of doping accuracy for sub-0.13um technology.

Autor:	Adibi, Babak
Zdroj:	Solid State Technology. Jan2001, Vol. 44 Issue 1, p68. 1/3p.
Databáze:	Business Source Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.