Focused ion beam mask repair.

Autor: Morgan, John C.
Zdroj: Solid State Technology. Mar98, Vol. 41 Issue 3, p61. 7p. 2 Black and White Photographs, 1 Diagram, 1 Graph.
Databáze: Business Source Ultimate
Externí odkaz:
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje