Process parameter effects on residual stress and phase purity after microlaser-assisted machining of silicon.
Autor: | Langan, Sean McCoy1, Ravindra, Deepak2, Mann, Adrian B.1 abmann@rutgers.edu |
---|---|
Zdroj: | Materials & Manufacturing Processes. 2018, Vol. 33 Issue 14, p1578-1586. 9p. |
Databáze: | Business Source Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |