Motion Monitoring of MEMS Actuator with Electromagnetic Induction.

Autor:	Watanabe, Yoshiyuki1, Kobayashi, Seiya1, Iwamatsu, Shinnosuke1, Yahagi, Toru1, Sato, Masahiro2, Oizumi, Norikazu2
Zdroj:	Electronics & Communications in Japan. Sep2014, Vol. 97 Issue 9, p52-57. 6p.
Databáze:	Business Source Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.