3D structures for micro-system technology using proximity lithography.

Autor:	Cullman, Elmar, Lochel, Bernd
Zdroj:	Solid State Technology. Mar95, Vol. 38 Issue 3, p93. 4p. 3 Color Photographs, 5 Black and White Photographs, 2 Graphs.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.