Giant Piezoelectricity on Si for Hyperactive MEMS.

Autor:	Baek, S. H.1, Park, J.2, Kim, D. M.1, Aksyuk, V. A.3, Das, R. R.1, Bu, S. D.1, Felker, D. A.4, V.Vaithyanathan, J. Lettiei5, Bharadwaja, S. S. N.6, Bassiri-Gharb, N.6, Chen, Y. B., Sun, H. P.7, Folkman, C. M.1, Jang, H. W.1, Kreft, D. J.2, Streiffer, S. K.8, Ramesh, R.9, Pan, X. O.7, Trolier-McKinstry, S.6, Schlom, D. G.6,10,11
Zdroj:	Science. 11/18/2011, Vol. 334 Issue 6058, p958-961. 4p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu