ZERO THICKNESS DIFFUSION BARRIERS AND METALLIZATION LINERS FOR NANOSCALE DEVICE APPLICATIONS.

Autor:	Kaloyeros, AlainE.1 (AUTHOR) akaloyeros@uamail.albany.edu, Eisenbraun, EricT.1 (AUTHOR), Dunn, Kathleen1 (AUTHOR), van der Straten, Oscar2 (AUTHOR)
Zdroj:	Chemical Engineering Communications. Nov2011, Vol. 198 Issue 11, p1453-1481. 29p. 6 Diagrams, 3 Charts.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.