New metrology challenges met by elastic probe technology.

Autor:	Howland, William H., Hillard, Robert J.
Zdroj:	Solid State Technology. Jul2001, Vol. 44 Issue 7, p177. 6p. 6 Graphs.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.