A New Method for Measuring Multilayer Thickness Using a Chromatic Confocal Sensor.

Autor:	Liu, Tiancheng1 (AUTHOR), Hong, Yutong1 (AUTHOR), Wu, Jiajun1 (AUTHOR), Zhu, Wule1 (AUTHOR) wulezhu@zju.edu.cn, Ju, Bingfeng1 (AUTHOR)
Zdroj:	Nanomanufacturing & Metrology. Dec2024, Vol. 7 Issue 1, p1-11. 11p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.